原子光譜分析在我國的真正發(fā)展開始于20世紀50年代，攝譜儀的大量引入，促進了原子發(fā)射光譜分析在各領(lǐng)域中的推廣應(yīng)用，由黃本立領(lǐng)導(dǎo)的長春應(yīng)用化學(xué)研究所編制、科學(xué)出版社出版的《混合稀上元素光譜圖》，是我國光譜分析工作者早期重要的專業(yè)工具書。

原子光譜分析發(fā)展早的是原子發(fā)射光譜分析。在我國早廣泛應(yīng)用原子發(fā)射光譜分析的是地質(zhì)部門，20世紀50年代初地礦部就開始著手籌建光譜實驗室，培訓(xùn)分析人員，大力推廣原子發(fā)射光譜分析技術(shù)，50年代后期研制出具有自動控制功能的粉末撒樣裝置，60年代末期又獨立地發(fā)展為吹樣光譜分析法。20世紀50年代中期，建立了一批光譜定量分析方法，到文化大革命前，地質(zhì)部門已經(jīng)能用電弧光譜粉末法分析幾十種元素。

20世紀70年代，我國開始對ICP光源進行研究開發(fā)，李炳林、黃本立、朱錦芳等較早地進行了ICPAES的應(yīng)用研究，直至80年代，國內(nèi)對CP-AES的研究，多限于使用自己組裝的儀器，且多為攝譜法，90年代國內(nèi)ICP分析技術(shù)得到迅速發(fā)展。

20世紀90年代，金欽漢等提出了一種微波等離子體炬（microwave plasma torch，MPT）新型光源，可在常壓下以He、Ar或N2工作，焰矩的環(huán)形結(jié)構(gòu)類似ICP焰矩，形成中央通道，在開管振腔獲得等離子體，提高了等離子體對樣品的承受能力，輸入功率大于2W即能工作，輸入功率大于29W，工作十分穩(wěn)定。

20世紀60年代~80年代原子吸收光譜分析在我國獲得很大的發(fā)展。國產(chǎn)商品儀器趨于成熟，在各種領(lǐng)域中的應(yīng)用達到普及的程度，在原子熒光光譜分析方面，開發(fā)了具有我國特色的光譜儀器，并得到推廣應(yīng)用。

21世紀初，王海舟等自主開發(fā)了單次火花放電光譜高速采集技術(shù)和光譜數(shù)字解析技術(shù)、無預(yù)燃連續(xù)激發(fā)同步掃描定位技術(shù)，開創(chuàng)了火花放電發(fā)射光譜金屬原位分析新方法，采用統(tǒng)計解析的方法定量表征金屬材料的偏析度，疏松度、夾雜物分布等指標2002年北京納克分析儀器有限公司研制成功世界臺金屬原位分析儀，使AES儀器由單一的成分分析儀器發(fā)展成為能同時得到金屬材料中較大尺度范圍內(nèi)成分、狀態(tài)分布及結(jié)構(gòu)的定量統(tǒng)計信息的多功能儀器。

進入21世紀以來，我國在各種原子光譜分析方法及儀器的研發(fā)與應(yīng)用，如輝光放電光譜GDS、激光光譜LIBS、中階梯光柵棱鏡雙色散-CTD光譜儀器分析技術(shù)及儀器研發(fā)和商品化進程方面得到全面發(fā)展。蒸氣發(fā)生原子熒光光譜商品儀器的研發(fā)生產(chǎn)與應(yīng)用技術(shù)一直居于優(yōu)先地位。原子吸收光譜儀器以及火花源/電弧直讀光譜儀器的制造水平及其商品化程度已達到同類型儀器的相同水平，個別類型儀器具有性，原子吸收和原子熒光光譜儀器在小型化方面處于優(yōu)先地位。