原子光譜分析在我國(guó)的真正發(fā)展開始于20世紀(jì)50年代，攝譜儀的大量引入，促進(jìn)了原子發(fā)射光譜分析在各領(lǐng)域中的推廣應(yīng)用，由黃本立領(lǐng)導(dǎo)的長(zhǎng)春應(yīng)用化學(xué)研究所編制、科學(xué)出版社出版的《混合稀上元素光譜圖》，是我國(guó)光譜分析工作者早期重要的專業(yè)工具書。

原子光譜分析發(fā)展早的是原子發(fā)射光譜分析。在我國(guó)早廣泛應(yīng)用原子發(fā)射光譜分析的是地質(zhì)部門，20世紀(jì)50年代初地礦部就開始著手籌建光譜實(shí)驗(yàn)室，培訓(xùn)分析人員，大力推廣原子發(fā)射光譜分析技術(shù)，50年代后期研制出具有自動(dòng)控制功能的粉末撒樣裝置，60年代末期又獨(dú)立地發(fā)展為吹樣光譜分析法。20世紀(jì)50年代中期，建立了一批光譜定量分析方法，到文化大革命前，地質(zhì)部門已經(jīng)能用電弧光譜粉末法分析幾十種元素。

20世紀(jì)70年代，我國(guó)開始對(duì)ICP光源進(jìn)行研究開發(fā)，李炳林、黃本立、朱錦芳等較早地進(jìn)行了ICPAES的應(yīng)用研究，直至80年代，國(guó)內(nèi)對(duì)CP-AES的研究，多限于使用自己組裝的儀器，且多為攝譜法，90年代國(guó)內(nèi)ICP分析技術(shù)得到迅速發(fā)展。

20世紀(jì)90年代，金欽漢等提出了一種微波等離子體炬（microwave plasma torch，MPT）新型光源，可在常壓下以He、Ar或N2工作，焰矩的環(huán)形結(jié)構(gòu)類似ICP焰矩，形成中央通道，在開管振腔獲得等離子體，提高了等離子體對(duì)樣品的承受能力，輸入功率大于2W即能工作，輸入功率大于29W，工作十分穩(wěn)定。

20世紀(jì)60年代~80年代原子吸收光譜分析在我國(guó)獲得很大的發(fā)展。國(guó)產(chǎn)商品儀器趨于成熟，在各種領(lǐng)域中的應(yīng)用達(dá)到普及的程度，在原子熒光光譜分析方面，開發(fā)了具有我國(guó)特色的光譜儀器，并得到推廣應(yīng)用。

21世紀(jì)初，王海舟等自主開發(fā)了單次火花放電光譜高速采集技術(shù)和光譜數(shù)字解析技術(shù)、無(wú)預(yù)燃連續(xù)激發(fā)同步掃描定位技術(shù)，開創(chuàng)了火花放電發(fā)射光譜金屬原位分析新方法，采用統(tǒng)計(jì)解析的方法定量表征金屬材料的偏析度，疏松度、夾雜物分布等指標(biāo)2002年北京納克分析儀器有限公司研制成功世界臺(tái)金屬原位分析儀，使AES儀器由單一的成分分析儀器發(fā)展成為能同時(shí)得到金屬材料中較大尺度范圍內(nèi)成分、狀態(tài)分布及結(jié)構(gòu)的定量統(tǒng)計(jì)信息的多功能儀器。

進(jìn)入21世紀(jì)以來(lái)，我國(guó)在各種原子光譜分析方法及儀器的研發(fā)與應(yīng)用，如輝光放電光譜GDS、激光光譜LIBS、中階梯光柵棱鏡雙色散-CTD光譜儀器分析技術(shù)及儀器研發(fā)和商品化進(jìn)程方面得到全面發(fā)展。蒸氣發(fā)生原子熒光光譜商品儀器的研發(fā)生產(chǎn)與應(yīng)用技術(shù)一直居于優(yōu)先地位。原子吸收光譜儀器以及火花源/電弧直讀光譜儀器的制造水平及其商品化程度已達(dá)到同類型儀器的相同水平，個(gè)別類型儀器具有性，原子吸收和原子熒光光譜儀器在小型化方面處于優(yōu)先地位。