報(bào)告簡(jiǎn)介：

半導(dǎo)體器件，尤其是高密度的集成電路，常見的污染莫過(guò)于微粒和有機(jī)化學(xué)品污染。該類污染物常落于器件的關(guān)鍵部位并毀壞器件的功能成為致命缺陷。目前微粒的量度尺寸已經(jīng)降到亞微米，這種亞微米的小尺寸污染檢測(cè)與鑒別尚未有高效準(zhǔn)確的表征手段。有機(jī)化學(xué)品污染以多種形式存在，如人的皮膚油脂，凈化室空氣，機(jī)械油，清洗溶劑等。如何在凹凸不平的集成電路微區(qū)里發(fā)現(xiàn)并鑒定有機(jī)化學(xué)品污染，提升器件良品率，已成為眾多科研工作者的研究課題。

傳統(tǒng)的傅里葉變換紅外光譜FTIR/QCL直是半導(dǎo)體器件污染的常用表征手段，但該技術(shù)在關(guān)鍵問(wèn)題的表征上存在些局限性，例如空間分辨率(10-20 μm) 較差和對(duì)<10 μm的樣品測(cè)試靈敏度較低、堅(jiān)硬的金屬界面可能會(huì)損壞ATR探針、以及污染出現(xiàn)在凹凸/狹隙內(nèi)，使得ATR接觸式測(cè)量難以實(shí)現(xiàn)。所以，如何在亞微米分辨率別和非接觸條件下，實(shí)現(xiàn)芯片/半導(dǎo)體器件的有機(jī)缺陷和污染物的識(shí)別和表征是非常重要以及創(chuàng)新的種手段。

PSC (Photothermal Spectroscopy Corp. )公司研發(fā)的亞微米分辨紅外拉曼同步測(cè)量系統(tǒng)mIRage將*的光學(xué)光熱紅外(O-PTIR)技術(shù)與同步拉曼光譜技術(shù)相結(jié)合，直接解決了上述挑戰(zhàn)。該系統(tǒng)具有500 nm的亞微米紅外空間分辨率、非接觸無(wú)損測(cè)量、免樣品制備、高質(zhì)量光譜(測(cè)試可兼容粒子形狀/尺寸和表面粗糙度)、商業(yè)數(shù)據(jù)庫(kù)檢索匹配等點(diǎn)，已廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體/芯片器件的痕量有機(jī)污染分析。

在本次講座中，我們將以半導(dǎo)體污染物的分析檢測(cè)為例，深入探討傳統(tǒng)FTIR和mIRageTM O-PTIR顯微光譜技術(shù)的區(qū)別和點(diǎn)，并通過(guò)系列非常有挑戰(zhàn)性的樣品測(cè)試結(jié)果和分析來(lái)展示紅外+拉曼同步顯微光譜技術(shù)的*功能與勢(shì), 希望對(duì)您的研究工作有所幫助。

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報(bào)告時(shí)間：

2021年11月24日 14:00

主講人：

趙經(jīng)鵬 博士

趙經(jīng)鵬，博士，畢業(yè)于法國(guó)國(guó)家科研中心，主要研究方向?yàn)楦叻肿泳酆衔锛凹{米材料物化性能表征等相關(guān)研究工作，在Quantum Design中國(guó)公司負(fù)責(zé)非接觸亞微米分辨紅外拉曼同步測(cè)量系統(tǒng)（mIRage）和臺(tái)式X射線精細(xì)結(jié)構(gòu)吸收譜（easyXAFS）等相關(guān)產(chǎn)品的技術(shù)支持及市場(chǎng)拓展等工作。

技術(shù)線上論壇：

https://qd-china.com/zh/n/2004111065734

相關(guān)產(chǎn)品：

1.mIRage 非接觸式亞微米分辨紅外拉曼同步測(cè)量系統(tǒng)

https://www.chem17.com/product/detail/33015211.html