導讀

近年來，材料、環(huán)境、能源、信息產業(yè)及微電子等領域的迅猛發(fā)展促使表面科學成為最為活躍的研究科學之一，同時對于表面分析技術的需求也日益增長。X射線光電子能譜（XPS）技術作為一種表面分析技術，在鑒定材料表面的化學性質與組成方面具備獨特的優(yōu)勢，已經廣泛應用于基礎科研、先進材料研制、高精尖技術等領域，促進了材料學的研究與發(fā)展。ESCApe軟件是島津XPS的儀器軟件，兼具操作分析功能，功能強大，界面美觀。為了更方便的將數(shù)據(jù)導出到Excel，最新版本ESCApe Ver. 1.4 進行了功能升級。今天，我們以案例分享模式，介紹一個鍍錫板樣品的全譜與窄譜分析數(shù)據(jù)的導出過程，我們一起來看看吧！

— （文末附完整操作視頻哦~） —

XPS操作方法

導出帶標注的全譜

1全譜Peak ID分析

將全譜拖入Data Processing模塊，下拉列表選擇ESCA Spectrum和Peak ID，之后運行、保存；

2調節(jié)輸出的數(shù)據(jù)格式

全譜保留在Data Processing模塊，下拉列表選擇ESCA Spectrum和Excel exporter，在Data Organiser中雙擊打開全譜，調節(jié)輸出的格式：點擊Fitted Model，顯示出元素標注；選擇Regions，顯示出元素含量；（此處調節(jié)的格式即最終的保存數(shù)據(jù)格式，如果不雙擊打開全譜，直接運行保存，則保存的是不帶元素標注的全譜）；

3導出數(shù)據(jù)到Excel

選擇保存位置、輸入名稱，選擇全譜，點擊運行，查看保存結果。

導出擬合后的窄譜

1窄譜擬合分析

將窄譜拖到Modelling模塊進行擬合等數(shù)據(jù)分析，具體操作可參考 XPS（X射線光電子能譜儀）｜數(shù)據(jù)處理（二）

2調節(jié)輸出的數(shù)據(jù)格式

將多個窄譜拖入Data Processing模塊，下拉列表選擇ESCA Spectrum和Excel exporter，在Data Organiser中雙擊打開其中一個窄譜，調節(jié)輸出的格式：點擊Fitted Model，顯示出擬合數(shù)據(jù)；選擇Components，顯示出價態(tài)含量；（調節(jié)其中一個窄譜的數(shù)據(jù)格式，其他窄譜會默認按照這個格式進行導出，如果不雙擊打開窄譜，直接運行保存，則保存的是不帶擬合數(shù)據(jù)的窄譜）；

3導出數(shù)據(jù)到Excel

選擇保存位置、輸入名稱，選擇全部窄譜，點擊運行，查看保存結果。

撰稿人：王文昌

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